泰克Keithley 電容漏漏電流多路測試系統(tǒng)通過可編程直流電源對多路并聯(lián)的電容產(chǎn)品進行充電，充電結(jié)束，通過高精度皮安表6485進行漏電流測試，然后通過數(shù)據(jù)采集器2700、單級控制模塊7705進行多個產(chǎn)品通道切換，實現(xiàn)自動化，高精度測試，并將結(jié)果傳到軟件系統(tǒng)進行處理，實現(xiàn)數(shù)據(jù)自動記錄保存。
Keithley (吉時利)電容漏電流多通道測試系統(tǒng)主要用于半導體器件、電子元件及材料的電氣性能測試，其核心作用體現(xiàn)在以下方面：
●半導體器件測試
適用于 GaN 、 SiC 等新型功率半導體材料的參數(shù)測試，可實現(xiàn)高壓(最高1100V)、高精度(6位分辨率)的電容和漏電流測量，支持單次測試完成高低壓參數(shù)測試，大幅提升測試效率。
●漏電流檢測
通過四象限操作(源/匯電流電壓)直接測量器件漏電流，結(jié)合高靈敏度靜電計技術，可檢測微小漏電流變化(如 MOS器件 亞閾值漏電)，支持 ISO-17025校準 確保數(shù)據(jù)可靠性。
●多通道靈活配置
提供12種開關模塊選擇，支持200個差分輸入通道(隔離電壓300V)，允許同時測量多個器件參數(shù)，適用于晶片級測試(如 功率模塊 的并行檢測)，通道數(shù)可根據(jù)需求動態(tài)調(diào)整。
●自動化與兼容性
內(nèi)置 KTE 7軟件 支持系統(tǒng)級校準(含探頭卡遷移路徑)，兼容 SCPI腳本 編程，可快速集成至生產(chǎn)線自動化系統(tǒng)，降低操作復雜度。
該系統(tǒng)通過高精度電容測量(22位分辨率)與漏電流特性分析，為半導體工藝驗證、可靠性評估及材料研發(fā)提供關鍵數(shù)據(jù)支撐。
- 產(chǎn)品推薦：Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
