Keithley 2600B 系列 SourceMeter SMU 是吉時(shí)利公司推出的一款高性能、高精度的源測(cè)量單元。它被廣泛認(rèn)為是半導(dǎo)體、納米技術(shù)、材料科學(xué)、光電元器件等研發(fā)和測(cè)試領(lǐng)域的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)儀器。
一、 什么是 SMU?
要理解 2600B，首先要明白 SMU 是什么。SMU 不同于普通的電源或萬用表，它在一個(gè)儀器中集成了四種功能：
1.高精度電源
2.真電流源
3.數(shù)字萬用表
4.電子負(fù)載
優(yōu)勢(shì)： SMU 可以同步地施加一個(gè)精確的電壓或電流激勵(lì)，并同時(shí)高精度地測(cè)量由此產(chǎn)生的電流或電壓響應(yīng)。這種“源”與“測(cè)量”的同步能力，使其在表征器件特性時(shí)具有無與倫比的效率和準(zhǔn)確性。
二、 2600B 系列的核心特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
1.高吞吐量與并行測(cè)試：
TSP® 技術(shù)： 這是 2600B 系列最大的亮點(diǎn)。每個(gè)通道都內(nèi)置了一個(gè)測(cè)試腳本處理器，可以運(yùn)行完整的測(cè)試程序。這意味著多個(gè) SMU 通道可以獨(dú)立、并行地工作，無需通過主控計(jì)算機(jī)來回發(fā)送指令，極大地減少了通信延遲，提升了測(cè)試吞吐量。這對(duì)于多站點(diǎn)并行測(cè)試(如晶圓測(cè)試)至關(guān)重要。
2.高精度和高性能：
高精度： 提供高達(dá) 6.5 位分辨率的低噪聲測(cè)量。
快速采樣率： 最高可達(dá) 1μs/點(diǎn)的數(shù)字化采樣率，能夠捕獲快速的瞬態(tài)信號(hào)。
寬動(dòng)態(tài)范圍： 覆蓋從 pA/pV 到 A/V 級(jí)的寬范圍，滿足從微弱漏電流到高功率器件的測(cè)試需求。
3.靈活的通道配置：
2600B 系列采用模塊化、多通道設(shè)計(jì)。主機(jī)可以容納 1、2 或 4 個(gè)獨(dú)立的 SMU 通道插卡。
用戶可以根據(jù)測(cè)試需求，在同一主機(jī)中混合搭配不同型號(hào)的 SMU 卡，實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的配置和成本控制。
4.豐富的型號(hào)選擇：
2601B: 40W， 20A 脈沖電流， 低電流測(cè)量。
2602B: 雙通道 40W (每通道)， 10A 脈沖電流， 最通用的型號(hào)。
2604B: 四通道 25W (每通道)。
2606B: 高功率型號(hào)， 100W， 40A 脈沖電流， 適用于功率器件測(cè)試。
2611B/2612B/2614B: 與 260xB 對(duì)應(yīng)，但提供了更快的系統(tǒng)和更低的噪聲。
5.易于使用：
KickStart 軟件： 吉時(shí)利提供的這款軟件無需編程，通過圖形化界面即可快速完成儀器設(shè)置、數(shù)據(jù)采集和繪圖，非常適合研發(fā)和調(diào)試。
嵌入式 TSP-Lua 腳本： 用戶可以使用類似 Python 的 Lua 腳本語言編寫復(fù)雜的測(cè)試序列，并直接在儀器上運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化和定制化的測(cè)試。
三、 主要應(yīng)用領(lǐng)域
•半導(dǎo)體器件測(cè)試： 晶體管、二極管、功率器件、 MEMS 的 I-V、C-V 特性分析。
•納米技術(shù)和新材料： 碳納米管、石墨烯、納米線的電學(xué)特性表征。
•光電器件測(cè)試： LED、激光二極管、太陽能電池、光電探測(cè)器的性能測(cè)試(常與太陽光模擬器配合使用)。
•無源元件測(cè)試： 電阻、電容、電感、壓敏電阻的特性分析。
•自動(dòng)化生產(chǎn)測(cè)試： 在晶圓探針臺(tái)、自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備中作為核心測(cè)量單元。
Keithley 2600B 系列 SourceMeter SMU 是一款集高精度、高速度、靈活性和強(qiáng)大并行測(cè)試能力于一身的頂級(jí)測(cè)試儀器。 它的 TSP 技術(shù)使其在多通道應(yīng)用中具有顯著的速度優(yōu)勢(shì)，而其寬動(dòng)態(tài)范圍和高精度則能滿足從基礎(chǔ)研究到高要求生產(chǎn)測(cè)試的各種應(yīng)用。
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